金融界2024年9月18日音尘,天眼查常识产权信息深远91porn vip,江苏微导纳米科技股份有限公司肯求一项名为“千里积成膜的相配检测措施、千里积成膜措施及千里积成膜系统“,公开号CN202410869187.2,肯求日历为2024年6月。
专利选录深远,本发明公开千里积成膜的相配检测措施、千里积成膜措施及千里积成膜系统,其中,相配检测措施在千里积成膜措施之前实施,包括:向响应腔通入检测气体,检测气体被建树为大致被电离形成检测等离子体,检测等离子体被建树为不与基片以及载具发生响应;结果运行射频电源;得回射频电源的特征信息,射频电源与载具电贯穿形成供电电路;判断特征信息是否存在相配,特征信息包括供电电路的电信号信息;在特征信息存在相配时,输出相配报警信息,并实现检测。上述相配检测措施在千里积成膜措施之前履行,一朝阐发存在相配,不再履行千里积成膜措施,可较好地避开千里积成膜措施履行经过中被巧合中断所变成的多数返工等问题,基本不会对后续千里积成膜措施带来不利影响。
本文源自:金融界
作家:谍报员